高密度多通道微弱电流测试方案—HC-PAX电流矩阵模块应用解析

针对科研实验室、半导体产线普遍存在的微弱电流单点测试效率低、多样品并行测试设备投入成本高、通道扩容繁琐等行业痛点，华测仪器HC-PAX 多通道电流矩阵模块提供高密度批量测试解决方案，解决皮安级微弱电流大批量同步检测难题。

模块可连接高准度静电计，依靠单台静电计即可搭建大规模多通道自动化测试系统，一改传统单通道逐点测量的低效模式，优化仪器利用率，成倍缩短批量样品检测周期，优化整体测试产能与实验室产线流转效率。

硬件采用单独通道控制架构，各路电流通道支持单独通断、时序与负载参数自主调控，通道间互不干扰，可灵活配置单路测试、多路同步扫描、分组循环检测等多种工作模式，适配多样化测试方案需求。整机采用模块化插拔设计，单台机箱可集成128通道，支持8台机箱拓展，整机通道规模可达 1024 通道，从实验室小批量试样到产线千点并行检测均可灵活适配。

高密度集成机身可减少整套测试系统占用空间，对比传统多仪表并联方案，可节省 90% 机柜布设空间，同步减少配套线缆、接线端子与配套辅材采购成本，可降低整套测试平台硬件投入与现场布线施工工作量。

内置高速低漏电矩阵开关，通道切换时间低至 20ms，响应速度快，支持动态负载自适应切换、连续高速循环扫描测试，适配长时间无人值守自动化巡检；整机采用低电容信号通路设计，可减少杂散电容带来的信号畸变与电流漂移，测量信号建立稳定迅速，减少信号稳定等待时长，进一步压缩整体测试耗时，保障批量检测数据一致性与可重复性。

测量电流量程覆盖±1pA~±100mA宽区间，全域覆盖微弱漏电流至常规器件工作电流检测需求：可准确捕捉高阻值绝缘薄膜、陶瓷介质、高阻电阻的皮安级微小漏电信号，完成材料绝缘性能、电阻率表征，适用于传感器测试、光电与光伏器件测试等领域。