pA 级~100mA 宽量程多通道矩阵模块在半导体电学表征中的应用

面对半导体、新材料行业单仪表通道数量少、多路测试布线繁琐、设备投入成本高、微弱电流测试不稳等行业痛点，华测仪器 HC-PAX 多通道电流矩阵模块凭借高密度模块化架构，为科研实验室与量产产线提供灵活可控、高准度、可规模化扩展的电流自动化测试新方案。

1.模块化灵活扩容

产品采用高密度集成设计，单机箱集成可达128 通道，整机空间利用率大幅优化，减少机柜柜体占用空间，对比传统单通道配线方案，显著降低机柜采购、繁杂线缆布线与后期运维成本。通道以8 通道为选配单元，按需灵活加装通道卡，支持多机箱级联堆叠，系统可拓展至1024 通道，同时通道卡支持热插拔，设备维护、通道增减无需整机停机断电，不中断整套测试系统运行。

2.毫秒级极速切换

硬件搭载矩阵开关电路，标准20ms单通道切换速度，实现毫秒级通路快速启停与切换，适配动态负载切换、多路器件连续高速循环扫描等复杂工况，打破传统开关矩阵切换滞后、测试节拍受限瓶颈，优化整线测试吞吐效率，缩短批量元器件 I-V 特性扫描周期。

3.宽量程全覆盖

电流量程全域覆盖±1pA~±100mA，依托低漏电流、低热电动势线路设计，减少线路热电干扰与串扰噪声，pA 级微弱漏电测量数据稳定可靠、重复性优异，一套设备可兼顾高阻绝缘材料微漏测试、常规元器件工作电流检测等，实现从微弱微电流到常规器件测试，无需搭配多台不同量程测试仪表。

4.强兼容易集成

硬件接口标准化适配市面主流静电计、高精度数字源表、皮安表等测试仪器，无需改造原有主控仪表，仅通过 HC-PAX 即可将单台测量仪表升级为多通道级自动化测试平台，软件层面支持恒流输出、脉冲激励、分段程控扫描多工作模式可切换，内置多通道单独时序编程功能，可自定义多路器件分时、同步测试逻辑，快速搭建自动化程控测试方案。

普遍适配高阻材料与元件测试、半导体器件特性分析、传感器测试与标定、电池与储能测试、静电与ESD研究、光电与光伏器件测试、环境监测与科学仪器、多器件并行参数测试等领域。