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高真空退火炉的设备优势与应用

日期:2020-11-23浏览:122次

  目前国内高温退火炉加热大都为管式炉或马弗炉,原理为加热丝或硅碳棒对炉体加热,加热与降温速度慢,效率低下,也无法实现温度的高精度测量,加热区域也存在不均匀的现象,华测仪器通过多年研究开发了一种可实现高精度,高反射率的抛物面与高质量的加热源相配置,在高速加热高速冷却时,具有良好的温度分布。可实现宽域均热区,高速加热、高速冷却,用石英管保护加热式样,无气氛污染。可在高真空,高纯度气体中加热。设备可组成均热高速加热炉,温度斜率炉,阶段加热炉,是一种目前较为理想的真高空退火炉。
 
  高真空退火炉设备优势:
 
  1.高速加热与冷却方式
 
  高能量的红外灯和镀金反射方式允许高速加热到高温。同时炉体可配置水冷系统,增设气体冷却装置,可实现快速冷却。
 
  2.温度高精度控制
 
  过红外镀金聚焦炉和温度控制器的组合使用,可以精que控制样品的温度(远比普通加温方式)。此外,冷却速度和保持在任何温度下可提供高精度。
 
  3.不同环境下的加热与冷却
 
  加热/冷却可用真空、气氛环境、低温(高纯度惰性气体静态或流动),操作简单,使用石英玻璃制成。红外线可传送到加热/冷却室。
 
  高真空退火炉的应用:
 
  1.电子材料
 
  半导体用硅化合化的PRA(加热后急速冷却)
 
  热源薄膜形成·激活离子注入后硅化物的形成
 
  2.陶瓷与无机材料
 
  陶瓷基板退火炉
 
  玻璃基板退火炉
 
  陶瓷张力、挠曲试验退火炉
 
  3.钢铁和金属材料
 
  薄钢板加热过程的数值模拟
 
  炉焊接模拟
 
  高真空热处理(1000℃以下)
 
  大气气体熔化过程
 
  压力下耐火钢和合金的热循环试验炉
 
  4.复合材料
 
  耐热性评价炉
 
  无机复合材料热循环试验炉
 
  5.其它
 
  高温拉伸压缩试验炉
 
  分段分区控制炉
 
  温度梯度炉
 
  炉气分析
 
  超导陶瓷退火炉

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