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视频采集技术在四探针测试系统中的应用

日期:2020-12-01浏览:328次

  四探针测试技术是半导体生产中主要监测手段之一,并且在半导体材料的测量中发挥着越来越重要的作用。四探针测试技术是一种高精度测量技术,在有些情况下还需要有高分辨率。每一种四探针法对探针的结构、位置和针尖距都有不同的要求,一般情况下,针距都是很小的,可能低于1mm。在大片径样品测量中,要尽可能地减小测量区域,以便更好地观测样品电阻率的不均匀性。
 
  鉴于以上原因,在测量时需要对测试台、样品和探针都进行细微的实时监测,保证测量是在允许的情况下进行的。但是人的肉眼的分辨率有限,直接依靠肉眼观测容易疲劳而产生误判,而且不能进行记录,会给测量结果带来很大的误差。通常情况下可以通过显微镜解决肉眼分辨率低的问题,但是检测起来还是相当麻烦。视频采集技术的发展可以很好地解决以上问题,能对测试过程进行图像采集、记录和分析,达到实时监测的要求,而且有很高的分辨率,方便测量员对测量过程的控制。
 
  视频采集技术在四探针测量中发挥着重要作用,主要体现在两个方面:
 
  1)对显微镜监测对象的图像进行实时采集;
 
  2)对采集到的视频数据进行处理,包括分析、记录和显示。一般可以借助计算机实现视频信息的记录与显示,从而使得传统的探针测试台与计算机技术紧密地结合起来。
 
  视频采集技术的引进实现了对四探针测量过程真正意义上实时监测,提高了测试仪的控制精确性,从而提高了测量结果的精度和准确性,尤其对观测样品电阻率的不均匀性有很大的帮助。

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