晶圆测试高低温真空探针台

产品型号：HCVP系列

厂商性质：生产厂家

所在地：北京市

更新日期：2026-02-13

产品简介：

华测仪器HCVP系列晶圆测试高低温真空探针台

价格仅供参考，如需获取更详尽的产品技术规格书、定制方案或应用案例，欢迎致电我司技术工程师

HCVP系列晶圆测试高低温真空探针台由华测仪器生产，是一种辅助执行机构，测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台(chuck)上，在显微镜配合下，X-Y移动器件，找到需要探测的位置，接下来通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮，控制前部探针(射频或直流探针)，准确扎到被测点，从而使其讯,号线与外部测试机导通，通过测试机可以得到所需要的电性能参数。

产品参数

腔体

样品台尺寸：2英寸 / 4英寸 / 6英寸

样品固定：弹簧压片

观察窗口：2英寸 / 4英寸 / 6英寸

真空度：10^-6torr

探针臂接口：至多6个探针臂接口

其它接口：信号接口、真空接口、光纤接口、冷源接口

制冷方式：液氮/液氦 / 制冷机

控制方式：开循环手动 / 闭循环自动控制

温度范围：77K ~ 450K / 4.5K~450K

温度分辨率：0.1K / 0.01K / 0.001K

稳定性：±1K / ±0.1K / ±0.01K

显微镜

X-Y-Z 移动行程：50mm×25mm×13mm

结构：外置探针臂，真空波纹管结构

移动精度：10μm  /  1μm

光源：外置LED环形光源 / 同轴光源

CCD：200万像素 / 500万像素 / 1200万像素