高低温真空探针台

产品型号：HCVP系列

厂商性质：生产厂家

所在地：北京市

更新日期：2026-02-06

产品简介：

华测仪器 HCVP系列高低温真空探针台

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HCVP系列高低温真空探针台由华测仪器生产，是一种辅助执行机构，测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台(chuck)上，在显微镜配合下，X-Y移动器件，找到需要探测的位置，接下来通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮，控制前部探针(射频或直流探针)，准确扎到被测点，从而使其讯,号线与外部测试机导通，通过测试机可以得到所需要的电性能参数。

产品优势

真空-温度协同控制

真空系统：分子泵+涡旋泵多级抽气，30分钟内实现10^-6torr级真空度，支持惰性气体氛围切换；

超宽温域：液氮制冷与电极加热复合控温，控温稳定性±0.1K。

测量能力

抗干扰设计：真空屏障腔体降低电磁噪声，支持皮安级微弱电流与μΩ级（微欧级）电阻测量；

多通道拓展：标配4探针臂（可扩展至6探针臂），支持四线法、射频探针、光电协同测试。

产品参数

腔体

样品台尺寸：2英寸/ 4英寸 / 6英寸

样品固定：弹簧压片

观察窗口：2英寸 / 4英寸 / 6英寸

真空度：10^-6torr

探针臂接口：至多6个探针臂接口

其它接口：信号接口、真空接口、光纤接口、冷源接口

制冷方式：液氮/液氦 / 制冷机

控制方式：开循环手动 / 闭循环自动控制

温度范围：77K ~ 450K / 4.5K~450K

温度分辨率：0.1K / 0.01K / 0.001K

稳定性：±1K / ±0.1K / ±0.01K