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基础信息Product information
产品名称:

高真空退火炉

产品型号:HEST-800G

厂商性质:生产厂家

所在地:北京市

更新日期:2020-07-03

产品简介:

高真空退火炉是通过多年研究开发了一种可实现高精度,高反射率的拋物面与高质量的加热源相配置仪器。它能在高速加热高速冷却时,具有良好的温度分布。设备可组成均热高速加热炉,温度斜率炉,阶段加热炉。可实现宽域均热区,高速加热、高速冷却,用石英管保护加热式样,无气氛污染。可在高真空,高出纯度气体中加热。

产品特性Product characteristics
品牌华测

高真空退火炉

设备原理:

1. 辐射加热

红外镀金聚焦炉是利用高能量密度的红外光源作为加热源的辐射加热炉。炉体由铝合金制成,红外线反射面抛光,镀金,反高光。同时配置水冷装置。

2. 红外线灯

红外镀金聚焦炉是利用高能量密度的红外光源作为加热源的辐射加热炉。炉体由铝合金制成,红外线反射面抛光,镀金,反高光。同时配置水冷装置。

3. 反射光

反射镜是用高精度曲率加工以提高反射率。反射镜有两种类型,一种是椭圆形的,另一种是抛物线型的,该模型rhl-e和vht-e系列有一个椭圆形反射器和适合的棒状样品加热,和其他模型:rhl-p,RHL PS和RHL PSS系列具有抛物线型反射器和适用于片状样品。

 

设备特点

1. 高速加热与冷却方式

高能量的红外灯和镀金反射镜允许高速加热到高温。同时体可配置水冷,增设气体冷却装置,可实现快速冷却。

2. 温度高精度控制

通过红外镀金聚焦和温度控制器的组合使用,可以控制样品的温度。此外,冷却速度和保持在任何温度下可提供高精度。

3. 清洁加热

反射镜是用高精度曲率加工以提高反射率。反射镜有两种类型,一种是椭圆形的,另一种是抛物线型的,该模型rhl-e和vht-e系列有一个椭圆形反射器和适合的棒状样品加热,和其他模型:rhl-p,RHL PS和RHL PSS

4. 不同环境下的加热与冷却

高真空退火炉加热/冷却可用真空、气氛环境,低温(高纯度惰性气体静态或流动),操作简单,使用石英玻璃制成。红外线可传送到加热/冷却室。

 

设备结构:

序号

项目

数量

品牌

备注

1

炉体

1

华测

温度1200℃

2

加热源

1

GE(进口)

 

3

温度控制器

1

华测

 

4

电热偶

1

omega

 

5

温控表

1

欧姆龙(进口)

 

6

稳压电源

1

华测

可定制

7

制冷水机

1

同飞

制冷功率8KW

8

分子泵

1

莱宝(进口)

CF法兰,抽速≥40L/s,极限真空度优于-0.8Mpa

 

                  

反射炉温度控制装置:

高速升温时,配套的快速反应的控制装置,本控制装置采用可编程温度控制器。高性能设计,响应速度快。

可选配置:

1进口干栗:抽速彡120L/min,极限真空度彡4pa,噪音小于52db;

2进口全量程真空规:刀口法兰接口,真空测量范围5X10-7Pa1atm;

3为了高速加热、设备采用PID温度控制,同时采用移相触发技术保证试验温度

4根据设备上的温度控制器输入参数,您也可以简单输入温度程序设定和外部信号。另外还 可以在电脑上显示热中的温度数据

5自适应热电偶包括JISKJTENRSB以及LUW

6可设定32个程序、256个步骤的程序

(7)30A、60A、120A内置了 SCR电路,所以范围很广。

更多应用:

样品腔内径:≥30mm;      退火炉外径:≤100mm

 

电子材料

半导体用硅化合化的PRA (加热后急速冷却)

热源薄膜形成

离子注入后

硅化物的形成

陶瓷与无机材料

陶瓷基板退火炉

玻璃基板退火炉

钢铁和金属材料

薄钢板加热过程的数值模拟

炉焊接模拟

高真空热处理(1000°c以下)

大气气体熔化过程

压力下耐火钢和合金的热循环试验炉

复合材料

耐热性评价炉

无机复合材料热循环试验炉

其他

高温拉伸压缩试验炉

分段分区控制炉

温度梯度炉

炉气分析

超导陶瓷退火炉


 

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