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基础信息Product information
产品名称:

双光束激光干涉仪

产品型号:

厂商性质:生产厂家

所在地:北京市

更新日期:2020-12-18

产品简介:

双光束激光干涉仪专门用于压电薄膜的蝴蝶曲线和纵向压电系数d33的测试。这是适合于从小尺寸薄膜到8英寸晶圆表征的。

产品特性Product characteristics

双光束激光干涉仪专门用于压电薄膜的蝴蝶曲线和纵向压电系数d33的测试。
双光束激光干涉仪这是适合于从小尺寸薄膜到8英寸晶圆表征的。
半自动的系统用于8"晶圆上的MEMS器件的压电性和电性相关性能的测试。
大量样品测试的重复精度可达2%以上。

测试功能:
机电大信号应变、极化、压电系数、小信号介电常数。
疲劳和电性及机械性能可靠性。

样品测试:
极化曲线和位移曲线。
小信号电容及压电系数。

技术参数:
分辨率: ≤1 pm(X晶向的石英)
测量范围:5pm- +/- 25nm
波长:632.8nm
位移/应力测试:>50Hz,最小1Hz分辨率,100mV到10V(可选到200V)
压电d33系数:
  基电压100mV到10V(1mHz到1Hz),可选到200V
  小信号100mV到10V(1kHz到5kHz)
C-V测试:
  基电压100mV到10V(1mHz到1Hz),可选到200V
小信号100mV到10V(1kHz到5kHz)

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